MEMS Pro

MEMS Pro是一套靈活、強大且易於使用的 CAD 工具，專門用於 MEMS 及其他類型感測器和致動器的設計與分析。

為設計流程提供了整合式解決方案，在確保設計人員可獲得可靠的製造分析結果的同時，有效縮短開發時程。

系統級工具

MEMS Pro透過完整階層式的線路圖擷取，以及MEMS元件與電子電路和封裝的行為層級模擬，提供系統層級的設計能力。

MEMS元件以多重物理訊號呈現，涵蓋機械、熱力、磁性、流體、光學和靜電等領域。MEMS模型則使用高階行為描述語言表示，如Verilog-A、SPICE、C程式碼或是資料表格。

Compact Model Builder 可自動從有限元素分析程式的 3D 資料中，生成可與電子電路和封裝進行系統模擬的行為模型。複雜且具有大量自由度的有限元素模型 (FEM)，可簡化為僅具有少數主要自由度的行為模型。

MEMS Pro 的實體設計環境包含了一個完整階層式且全客製化的光罩編輯器，專為 MEMS 和 IC 設計所打造。此程式採用直覺式介面，並提供特定的MEMS 相關功能，大幅縮減佈局時間。

根據元件佈局和製程描述，建立 MEMS 元件的 3D 視圖。使用者透過簡易的圖形使用者介面，即可輸入製程步驟和順序。

支援表面和體型微機械加工製程步驟，包括材料沉積、蝕刻、機械拋光、擴散、成長、電鍍以及晶圓處理等步驟。

根據使用者指定的切線，顯示 Z 軸方向的剖面視圖。模型顯示可動畫化以呈現製程順序。可定義材料特性和邊界條件，並且能與 3D 模型一併轉移至第三方 3D 分析程式，進行後續模擬。

能夠針對特定製程技術，並提供製程專屬的元件智慧財產權。多種晶圓廠專用模組已完全整合至 SoftMEMS 的工具組中，以確保與全球領先的MEMS 晶圓代工廠在製程上的相容性和可製造性。