本文介紹了如何使用 Tanner 由上而下的設計流程來建立 MEMS 元件裝置。此流程為設計團隊提供了一個縝密的解決方案,助其建置一個包含數位、類比和 MEMS 元件的 IC 電路。利用 MEMS 資料庫的參數化基礎元件庫,您可以建立複雜的表面微加工或流體 MEMS 元件裝置。引用每個基礎元件、設定參數,然後在 L-Edit 中組合 layout,即可快速定義和分析 MEMS 元件裝置。
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